SPECTROMETRE DE MASSE RGA

SPECTROMETRE DE MASSE RGA

Identité

Nom de l'équipement / technique : SPECTROMETRE DE MASSE RGA

Modèle (Référence) : HPR 30 (Hiden analytical)

Légende de la photographie : : Spectromètre de masse Hiden Analytical HPR30

Description

Ce spectromètre de masse HPR-30 permet d’analyser les gaz résiduels de procédés sous vide avec une capacité d'échantillonnage allant du vide poussé 10-7 mbar à 4 10-1 mbar grâce à une sonde entrante, un orifice d’échantillonnage remplaçable par l’utilisateur (diamètre 20, 200 et 750 µm) et une vanne pneumatique. Le système peut être utilisé pour analyser des procédés tels que CVD, ALD, gravure au plasma, MOCVD. Il permet de mesurer des masses allant de 1 à 200 amu grâce à deux détecteurs : Faraday et SEM.

Contact

Nom du laboratoire
GREMI
Nom du responsable scientifique
Amaël CAILLARD

Contacter le responsable scientifique

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