Microscope électronique à balayage MEB-FEG

La microscopie électronique à balayage (MEB) est une technique de microscopie utilisant l’interaction électron-matière pour réaliser des images haute résolution de la surface d’échantillons. Un faisceau électronique est produit par un canon à émission de champ (FEG), des lentilles focalisent celui-ci sur l’échantillon et des bobines, parcourue par des courants synchronisés, permettent de soumettre ce faisceau à un balayage.

Tous ces dispositifs sont contenus dans la « colonne ». La chambre du MEB contient le porte échantillon et ces deux parties du MEB sont sous vide.

Lorsqu’un faisceau d’électron balaye la surface de l’échantillon, l’interaction entre ceux-ci génère plusieurs types d’émissions qui sont alors captés par différents détecteurs (électrons secondaires, électrons rétrodiffusés, rayons X…). La détection des électrons secondaires permet un contraste topographique alors que la détection des électrons rétrodiffusés permet de réaliser des images en contrastes chimiques.

Il est possible d’utiliser des équipements à installer dans les MEB-FEG comme un détecteur EDS, EBSD et une platine de traction in situ MEB-FEG.

Les échantillons doivent être massifs, conducteurs et non aimantés.