Microscope électronique à balayage (MEB)

Le Myra 3 est un microscope électronique à balayage (MEB) environnemental à effet de champ doté d’un système de microanalyse à dispersion d’énergie (EDS) intégré, INCA X-Act d'Oxford Instruments.

Cet équipement permet de faire de l’imagerie en contraste topographique/ morphologique (mode électrons secondaires SE) ou en contraste de composition (mode électrons rétrodiffusés BSE) et des analyses élémentaires par EDX. Deux autres détecteurs d'électrons secondaires et rétrodiffusés sont présents dans la colonne, appelés InBeam.

L'avantage de ces détecteurs est l’obtention d’images à des distances de travail très courtes, ce qui permet d'obtenir une très grande qualité de résolution. Le détecteur In-Beam SE permet d'observer des détails de surface extraordinairement nets et de mettre en évidence la topographie.

Le microscope a deux modes de fonctionnement du vide pour visualiser différents types d’échantillons. Le High Vacuum est le mode d’exploitation conventionnel associé à tous les microscopes électroniques analytiques. Le mode Low Vaccum est utilisé pour l’observation des échantillons non conducteurs.