Mesure de résistivité à 4 pointes

La technique de mesure de résistivité à 4 pointes de l'ICMN permet de déterminer la résistivité de films minces à température ambiante.

Quatre pointes en carbure de tungstène alignées de manière équidistantes sont mises en contact avec la surface de l’échantillon. Un courant est appliqué sur les deux pointes extérieures et la tension est mesurée sur les deux pointes intérieures.

Une formule analytique permet de calculer la résistivité. En pratique, plusieurs valeurs de courant son utilisées pour une meilleure précision de la mesure.

Cette technique s’applique à des couches minces (métaux, polymères, etc…) déposées sur un substrat :

- Afin de limiter les effets de bord, la taille de l’échantillon doit être supérieure à 10 fois l’espacement des pointes (1.58mm à l’ICMN), soit un minimum de 16mm

- Pour rester dans le domaine d’utilisation de la formule analytique, l’épaisseur de l’échantillon doit être inférieure à 0.4 fois l’espacement des pointes, soit un maximum de 630 µm.