Ellipsomètre

L’ellipsométrie est une technique optique basée sur la mesure du changement de polarisation de la lumière après réflexion sur une surface plane.

Cette technique, non destructive, permet d’obtenir les valeurs des constantes optiques (indice de réfraction, coefficient d'absorption) et d’épaisseur de couche. Le couplage avec une cellule environnementale (exposition à des degrés d’hygrométrie contrôlés) est possible.

Une option « microspot » est également disponible, qui permet une mesure très localisée (~ 100 µm) sur l’échantillon dans le cas d’échantillon hétérogène ou de gradient de composition.

Cellule environnementale : Mesures en condition environnementale contrôlée (degré d’hygrométrie contrôlé par exemple)

Polymères, Métaux, Diélectriques, Oxydes, Semi-conducteurs, Matériaux massifs, couches minces, revêtement, etc.