Camera EBSD

La caméra EBSD est un détecteur attaché au MEB-FEG qui permet de réaliser des cartographies la microstructure d’un échantillon en très haute résolution.

Ce détecteur utilise la diffraction des électrons rétrodiffusés. En effet, lorsque le faisceau électronique percute l’échantillon, les électrons rétrodiffusés vont être diffractés par les plans inter-réticulaires du réseau cristallin lorsque la loi de Bragg (2dsin θ = n λ) est satisfaite.

Un écran phosphorescent présent dans le détecteur EBSD capte ces bandes de diffraction générées, appelées « bandes de Kikuchi ». Chaque bande corresponds à un plan cristallin.

Grâce à celles-ci, on peut obtenir les informations suivantes du matériau : la texture cristallographique, la taille des grains, la densité de dislocation dans l’échantillon observé.

Les échantillons doivent être enrobés dans de la résine conductrice en diamètre 25 mm. Les échantillons doivent être parfaitement polis.