Bâti de dépôt de couche mince (PULP)

Bâti de dépôt de couche mince (PULP)

Identité

Nom de l'équipement / technique : Bâti de dépôt de couche mince (PULP)

Légende de la photographie : Bâti de dépôt de couches minces par magnétron

Description

L’enceinte PULP pompée en vide secondaire (<10-6 mbar) est équipée de deux magnétrons (cylindriques, 4 pouces) permettant le dépôt de couches minces sur des substrats plans d’une dimension maximale de 15 x15 cm. Les magnétrons peuvent être polarisés en régime continu sous un plasma d’argon permettant d’avoir des revêtements métalliques de 0.1 à 1 µm d’épaisseur environ. La pression d’argon dans l’enceinte, la puissance appliquée sur les magnétrons, la durée de dépôt, la vitesse de rotation du porte échantillon sont variables. Une vingtaine de cibles métalliques sont disponibles permettant de synthétiser des revêtements de différentes natures (Zr, Cu, Ni, Cr, Mo …).

Contact

Nom du laboratoire
GREMI
Nom du responsable scientifique
Amaël CAILLARD

Contacter le responsable scientifique

Avant de prendre contact avec le laboratoire, veuillez prendre connaissance des modalités du parc instrumental

Retour